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日本HORIBA堀場/ 自動(dòng)化薄膜測量工具/一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀/Auto SE
日本HORIBA堀場橢圓偏振光譜儀i_Product_2065323049.html?_v=1690560008
薄膜表征的有效技術(shù)
橢圓偏振光譜是一種表面敏感、非破壞性、非侵入性的光學(xué)技術(shù)，廣泛應(yīng)用于薄層和表面特征。它基于線偏振光經(jīng)過薄膜樣品反射后偏振狀態(tài)發(fā)生的改變，通過模型擬合獲得厚度以及光學(xué)常數(shù)等。根據(jù)薄膜材料的不同，可測量的厚度從幾個(gè)?到幾十微米。橢圓偏振光譜是一種很好的多層膜測量技術(shù)。
橢圓偏振光譜儀可以表征薄膜的一系列特性，如膜厚、光學(xué)特性(n,k)、光學(xué)帶隙、界面和粗糙度厚度，薄膜組成，膜層均一性，等等。
橢圓偏振光譜適合分析的材料包括半導(dǎo)體、電介質(zhì)、聚合物、有機(jī)物和金屬。也可用于研究固-液或液-液界面。
HORIBA橢圓偏振光譜儀采用新型高頻偏振調(diào)制技術(shù)，測試過程中無任何機(jī)械旋轉(zhuǎn)。與傳統(tǒng)橢偏儀相比，更快的測試速度、更寬的測量范圍以及更高的表征精度。
Auto SE - 自動(dòng)化薄膜測量工具一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀
?UVISEL PLUS橢圓偏振光譜儀研究級(jí)經(jīng)典型橢偏儀
Smart SE- 功能強(qiáng)大，高性價(jià)比橢偏儀智能型多功能橢偏儀
UVISEL 2 VUV真空紫外橢偏儀
UVISEL Plus In-Situ在線監(jiān)控橢偏儀
大面積成像橢偏儀
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