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利用獨(dú)自的高速描畫「Point Array方式」技術(shù)直接描畫圖形的裝置。 主要特長 能夠用于研究開發(fā)、試作、小批量生產(chǎn)等的直描曝光。 能夠?qū)?yīng)半導(dǎo)體、電子零件、優(yōu)異PCB、高密度封裝件、MEMS、FPD等的曝光。 由于在光刻工藝中不需要掩膜，因而可以*大限度地降低開發(fā)成本和縮短市場供應(yīng)時(shí)間。 此外,還可以根據(jù)客戶需求,提供相應(yīng)的裝置構(gòu)造。
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利用獨(dú)自的高速描畫「Point Array方式」技術(shù)直接描畫圖形的裝置。 主要特長 能夠用于研究開發(fā)、試作、小批量生產(chǎn)等的直描曝光。 能夠?qū)?yīng)半導(dǎo)體、電子零件、優(yōu)異PCB、高密度封裝件、MEMS、FPD等的曝光。 由于在光刻工藝中不需要掩膜，因而可以*大限度地降低開發(fā)成本和縮短市場供應(yīng)時(shí)間。 此外,還可以根據(jù)客戶需求,提供相應(yīng)的裝置構(gòu)造。
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利用獨(dú)自的高速描畫「Point Array方式」技術(shù)直接描畫圖形的裝置。 主要特長 能夠用于研究開發(fā)、試作、小批量生產(chǎn)等的直描曝光。 能夠?qū)?yīng)半導(dǎo)體、電子零件、優(yōu)異PCB、高密度封裝件、MEMS、FPD等的曝光。 由于在光刻工藝中不需要掩膜，因而可以*大限度地降低開發(fā)成本和縮短市場供應(yīng)時(shí)間。 此外,還可以根據(jù)客戶需求,提供相應(yīng)的裝置構(gòu)造。
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主要特長 直立配置掩膜臺/基板臺。不需補(bǔ)正由掩膜/掩膜臺/基板臺的自身重量而造成的彎曲變形,構(gòu)造簡單，安定性高。 采用新型光學(xué)系統(tǒng),使影響圖形轉(zhuǎn)印精度的傾斜角降低至過去的一半以下(與本公司裝置相比),可實(shí)現(xiàn)更高精度的圖形轉(zhuǎn)印。 完全分離本體與光源部。光源的熱量傳遞不到本體,改善了本體部的熱量分布水準(zhǔn)。 為了防止因掩膜及玻璃基板的溫度差造成的伸縮變形,可選擇基板臺溫度控制系統(tǒng)及掩膜冷卻系統(tǒng)。
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主要特長 直立配置掩膜臺/基板臺。不需補(bǔ)正由掩膜/掩膜臺/基板臺的自身重量而造成的彎曲變形,構(gòu)造簡單，安定性高。 采用新型光學(xué)系統(tǒng),使影響圖形轉(zhuǎn)印精度的傾斜角降低至過去的一半以下(與本公司裝置相比),可實(shí)現(xiàn)更高精度的圖形轉(zhuǎn)印。 完全分離本體與光源部。光源的熱量傳遞不到本體,改善了本體部的熱量分布水準(zhǔn)。 為了防止因掩膜及玻璃基板的溫度差造成的伸縮變形,可選擇基板臺溫度控制系統(tǒng)及掩膜冷卻系統(tǒng)。
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主要特長 直立配置掩膜臺/基板臺。不需補(bǔ)正由掩膜/掩膜臺/基板臺的自身重量而造成的彎曲變形,構(gòu)造簡單，安定性高。 采用新型光學(xué)系統(tǒng),使影響圖形轉(zhuǎn)印精度的傾斜角降低至過去的一半以下(與本公司裝置相比),可實(shí)現(xiàn)更高精度的圖形轉(zhuǎn)印。 完全分離本體與光源部。光源的熱量傳遞不到本體,改善了本體部的熱量分布水準(zhǔn)。 為了防止因掩膜及玻璃基板的溫度差造成的伸縮變形,可選擇基板臺溫度控制系統(tǒng)及掩膜冷卻系統(tǒng)。(選購項(xiàng)) *大基板尺寸為1,200mm×1,400mm。通過獨(dú)自的光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了均勻的一次性曝光。 能夠裝載存放5張掩膜的掩膜存放庫
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主要特長 能夠進(jìn)行節(jié)拍時(shí)間約20秒(標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格機(jī)，對位容許值設(shè)定為0.5μm時(shí)。不含曝光時(shí)間。)的高速曝光處理。 利用直讀式間隙傳感器與獨(dú)自的控制系統(tǒng),能夠高速度和高精度地設(shè)定掩膜與基板間的近接間隙 。 可配置嚴(yán)格控制處理部位溫度環(huán)境的溫控機(jī)房。為了防止因熱而引起的基板伸縮,還可選用基板臺溫度調(diào)控系統(tǒng)。 可選擇配置基板臺溫度控制系統(tǒng)及掩膜冷卻系統(tǒng)，以防止掩膜及玻璃基板因溫度差而引起的伸縮。(
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主要特長 能夠進(jìn)行節(jié)拍時(shí)間約20秒(標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格機(jī)，對位容許值設(shè)定為0.5μm時(shí)。不含曝光時(shí)間。)的高速曝光處理。 利用直讀式間隙傳感器與獨(dú)自的控制系統(tǒng),能夠高速度和高精度地設(shè)定掩膜與基板間的近接間隙 。 可配置嚴(yán)格控制處理部位溫度環(huán)境的溫控機(jī)房。為了防止因熱而引起的基板伸縮,還可選用基板臺溫度調(diào)控系統(tǒng)。 可選擇配置基板臺溫度控制系統(tǒng)及掩膜冷卻系統(tǒng)，以防止掩膜及玻璃基板因溫度差而引起的伸縮。(
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主要特長 能夠進(jìn)行節(jié)拍時(shí)間約20秒(標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格機(jī)，對位容許值設(shè)定為0.5μm時(shí)。不含曝光時(shí)間。)的高速曝光處理。 利用直讀式間隙傳感器與獨(dú)自的控制系統(tǒng),能夠高速度和高精度地設(shè)定掩膜與基板間的近接間隙 。 可配置嚴(yán)格控制處理部位溫度環(huán)境的溫控機(jī)房。為了防止因熱而引起的基板伸縮,還可選用基板臺溫度調(diào)控系統(tǒng)。 可選擇配置基板臺溫度控制系統(tǒng)及掩膜冷卻系統(tǒng)，以防止掩膜及玻璃基板因溫度差而引起的伸縮。(選購項(xiàng)) 能夠裝載存放5張掩膜的掩膜存放庫
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非常適用于實(shí)驗(yàn)?研發(fā)之用途。 緊湊型設(shè)計(jì)(600×600mm)，可在桌面上安裝使用。 搭載UV LED爆光燈房標(biāo)準(zhǔn)（有效曝光范圍φ4″）。 接觸式曝光模式（可支持其他的曝光模式，為選購項(xiàng)）。 完全手動操作，價(jià)格公道合理。
