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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
AP250とAP500は半導(dǎo)體製造プロセス等で使用されるクリーンガスの圧力制御に適した大流量タイプのコントローラで、空気圧制御部（AP100Nと同等品）とドーム式レギュレータ部から構(gòu)成されています。 さらに外部には圧力センサを取り付け、そのセンサからの信號を空気圧制御部に入力し、空気圧制御郡のバルブをON/OFF制御することによって、レギュレータ部にあるドームの內(nèi)部圧力を調(diào)整し、外郭圧力が任意の設(shè)定圧力値と一致するように自動制御します。 また、流量センサを外部に取付けることにより、流量コントローラとして使用することも可能です。 *大制御流量はAP250が5001/分、AP500が2000L/分で、*大制御圧力は両タイプとも600kPa程度です。 圧力継手はAP250が1/2"VCR、AP500は3/4"SWAG相當(dāng)品または3／4"VCR相當(dāng)品に対応しています。真空中での使用なら相當(dāng)品導(dǎo)體用
詳情介紹：
型式 AP250 AP500
主な用途 FPD、燃料電池用 FPD、燃料電池用
対象ガス N2、空気、H2等 N2、空気、H2等
入口圧力 999kPa以下 999kPa以下
耐圧 1500kPa未満 1500kPa未満
圧力設(shè)定 表示設(shè)定器で設(shè)定 表示設(shè)定器で設(shè)定
制御方式 ドーム內(nèi)空圧制御 ドーム內(nèi)空圧制御
制御圧力 0～500kPa 0～500kPa
*大流量 500L/分 2000L/分
応答時間 設(shè)定値到達(dá)まで1秒 設(shè)定値到達(dá)まで1秒
入力信號 0～5VDC Cont/Close 0～5VDC Cont/Close
RS485 RS485
外部センサ入力 （4～20mA 標(biāo)準(zhǔn)） （4～20mA 標(biāo)準(zhǔn)）
出力信號 アラーム出力、RS485 アラーム出力、RS485
継手 1/2インチVCR相當(dāng)品または1/2インチスウェジロック相當(dāng)品 3/4インチVCR相當(dāng)品または3/4インチスウェジロック相當(dāng)品
シートリーク 10-5Pa?m3/秒以下 10-5Pa?m3/秒以下
精度 圧力センサ仕様による 圧力センサ仕様による
電源電圧 24VDC±10％ 24VDC±10％
消費(fèi)電流 200mA Max． 200mA Max．
使用溫度 0～50℃結(jié)露なきこと 0～50℃結(jié)露なきこと
面間外形寸法 W70×D145×H124mm W80×D178×H170mm
圧力センサ 無し（外部） 無し（外部）
表示設(shè)定器 有り（分離設(shè)置可） 有り（分離設(shè)置可）
主な用途 FPD、燃料電池用 FPD、燃料電池用
対象ガス N2、空気、H2等 N2、空気、H2等
入口圧力 999kPa以下 999kPa以下
耐圧 1500kPa未満 1500kPa未満
圧力設(shè)定 表示設(shè)定器で設(shè)定 表示設(shè)定器で設(shè)定
制御方式 ドーム內(nèi)空圧制御 ドーム內(nèi)空圧制御
制御圧力 0～500kPa 0～500kPa
*大流量 500L/分 2000L/分
応答時間 設(shè)定値到達(dá)まで1秒 設(shè)定値到達(dá)まで1秒
入力信號 0～5VDC Cont/Close 0～5VDC Cont/Close
RS485 RS485
外部センサ入力 （4～20mA 標(biāo)準(zhǔn)） （4～20mA 標(biāo)準(zhǔn)）
出力信號 アラーム出力、RS485 アラーム出力、RS485
継手 1/2インチVCR相當(dāng)品または1/2インチスウェジロック相當(dāng)品 3/4インチVCR相當(dāng)品または3/4インチスウェジロック相當(dāng)品
シートリーク 10-5Pa?m3/秒以下 10-5Pa?m3/秒以下
精度 圧力センサ仕様による 圧力センサ仕様による
電源電圧 24VDC±10％ 24VDC±10％
消費(fèi)電流 200mA Max． 200mA Max．
使用溫度 0～50℃結(jié)露なきこと 0～50℃結(jié)露なきこと
面間外形寸法 W70×D145×H124mm W80×D178×H170mm
圧力センサ 無し（外部） 無し（外部）
表示設(shè)定器 有り（分離設(shè)置可） 有り（分離設(shè)置可）
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